|
Области применения :: Научно-исследовательская деятельность
Многие научно-исследовательские учреждения проводят ряд исследований с использованием средств высоковакуумной откачки. Требования, предъявляемые к надежности и чистоте полученной среды, очень высоки, ведь от этого зависит результат исследования.
Имеются два пути получения вакуума: основной путь - использование вакуумных насосов и второй - использование ловушек, которые обычно служат для улучшения вакуума, получаемого вакуумными насосами.
Все вакуумные насосы удаляют газ одним из трех способов: отсекают определенный объем газа, сжимают его и выбрасывают в область высокого давления, другим способом обеспечивают откачиваемому газу достаточное количество движения, чтобы удалить его из вакуумной системы, либо забирают у газа это количество движения, химически связывая или конденсируя его на поверхности.
Для получения той или иной степени вакуума требуются соответствующие насосы или их комбинация. Выбор насоса определяется родом и количеством пропускаемых насосом газов и диапазоном рабочих давлений насоса и его параметрами. К сожалению, не существует такого насоса, с помощью которого можно было бы обеспечить получение вакуума во всем диапазоне давлений c приемлемой эффективностью.
В зависимости от степени вакуума все насосы могут быть отнесены к следующим группам:
1. Насосы предварительного разряжения (форвакуумные насосы, служащие для получения низкого и среднего вакуума), область рабочих давлений 105-10-1 Па:
- Мембранные насосы для физического и химического применения Ilmvac серий MP и MPC;
- Двухступенчатые вакуумные насосы PVR серии PHV, ILMVAC серии PK;
- Спиральные вакуумные насосы - ILMVAC серии Dry Run 1, 2. Насосы серии Dry Run имеют инновационную вертикальную конструкцию, обеспечивающую повышенную стойкость к конденсату, а также обеспечивающую отличные условия смазки подшипников.
2. Сверхвысоковакуумные насосы (P < 10-5 Па) и высоковакуумные насосы (10-1 - 10-5 Па).
Диффузионные насосы и откачные посты их основе ILMVAC DP63/4DM, DP100/8DM - применяется для откачки тела лазера, в напылительных системах и исследовательских установок.
Турбомолекулярные насосы и посты ILMVAC SST, CDK, STP хорошо приспособлены для откачки больших потоков газов, в том числе агрессивных, что делает их незаменимыми в микроэлектронике при реализации процессов нанесения и травления тонких пленок.
Главные отличия турбомолекулярного оборудования ILMVAC - это использование передовых технологий и высокая степень автоматизации, простота эксплуатации и установки, высокий ресурс и очень длительный период работы между регламентными работами.
Выпускаются как компактные посты, так и посты, смонтированные на передвижной платформе, которые можно максимально точно адаптировать под требования клиента. Также поставляются отдельно турбомолекулярные насосы и комплектующие.
Геттерно-ионные насосы и сублимационные насосы VACOM - применяются для анализа состояния поверхности, в микроэлектронике в установках электронной и рентгеновской микролитографии.
Компания "ТАКО Лайн" предлагает к поставке высоковакуумные камеры по индивидуальным проектам. Наши специалисты совместно с научным персоналом заказчика выполнят проектирование и моделирование сверхвысоковакуумных камер, осуществит подбор высоковакуумной арматуры и средств откачки и осуществит поставку оборудования для вашего применения.
Важно, что для каждого клиента мы реализуем индивидуальный подход и изготовим вакуумные камеры исключительно по вашим требованиям.
Работая в Группе Компаний, мы опираемся на опыт наших немецких коллег из Технического Университета г. Ильменау, Технического Университета г. Дрезден, специалистов передовых исследовательских лабораторий и найдем для вас самое оптимальное решение.
Используемое оборудование
|
