Фланцевые детали
Важной составляющей вакуумной техники являются вакуумные компоненты. К ним относятся все компоненты вакуумных установок, которые необходимы для взаимосвязей между устройстави получения вакуума и контроля процесса, как то: фланцы, уплотнения, трубные соединения (углы, переходы, тройники, разветвители, сильфоны), крепежные элементы и т.д.
Для различных областей применения существуют различные стандарты соединений, которые основываются на различных фланцевых системах. Именно поэтому ассортимент продукции компании VACOM и ILMVAC покрывает все возможные стандарты. Мы также можем изготовить вакуумные компоненты по вашим чертежам именно для вашего применения с использованием самых последних технологий.
Фланцевые системы (KF, ISO, CF)
В вакуумной технике чаще всего используют 3 типа стандартов фланцевых систем. Какой стандарт фланцевой системы наиболее подходит, зависит от применения. Ниже приведена сводная таблица по фланцевым системам:
|
Фланцевая система |
Малые фланцы
(Kleinflansch) |
Зажимные фланцы
(Klammerflansch) |
Плаские фланцы
(ConFlat Flansch) |
|
Краткое наименование |
KF (ISO-KF) |
ISO (ISO-K, ISO-F) |
CF |
|
Номинальные размеры |
от DN 10 до DN 50 |
от DN 63 до DN 630 |
от DN 10 до DN 250 |
|
Нормы |
DIN 28403
ISO 2861 |
DIN 28404
ISO 1609 |
ISO 3669 |
|
Область вакуума |
до высокого вакуума |
до высокого вакуума |
до сверхвысокого вакуума |
|
Стандартные уплотнения |
Эластомер О-кольцо |
Эластомер О-кольцо |
медное уплотнение |
|
Натекание |
< 1х10-9 мбар л/с |
< 1х10-9 мбар л/с |
< 1х10-11 мбар л/с |
Материалы
Вакуумные компоненты VACOM изготавливаются из материалов, которые соответствуют высоким требованиям в вакуумной технике.
Для изготовления фланцев и труб используются исключительно нержавеющие стали. Вакуумные компоненты KF изготавливаются также из алюминия.
Компоненты для сверхвысокого вакуума изготавливаются из стали 1.4429-ESU (316LN ESR). Этот материал отличается прекрасными характеристиками по чистоте и гомогенности, высокой прочностью и очень низкой магнитной проницаемостью.
|
Материал № |
AISI |
ESU |
|
1.4301 |
304 |
- |
|
1.4305 |
303 |
- |
|
1.4307 |
304L |
- |
|
1.4404 / 1.4435 |
316L |
- |
|
1.4429 |
316LN |
да |
|
1.4541 |
321 |
- |
|
1.4571 |
316Ti |
- |
Материалы уплотнений
В вакуумной технике используются различные материалы уплотнений. Подбор правильных материалов уплотнений зависит от следующих параметров:
- конечное давление;
- температура;
- химическая стойкость;
- стойкость к излучению.
С фланцевыми стандартами KF и ISO как правило используют О-кольца из NBR и FPM. Для фланцевой системы CF применяют плоские медные уплотнения. При специальных применениях возможны другие материалы.
Эластомеры
|
Материал |
NBR
(акрилонитрил бутадиен-каучук) |
FPM
(флуор-каучук) |
PFPM
(пер-флуор-каучук) |
PTFE
(поли-тетра-фтор-этилен) |
|
Фланцевая система |
KF, ISO |
KF, ISO, CF |
KF, ISO |
KF |
|
Исполнение |
О-кольцо |
О-кольцо либо плоское уплотнение |
О-кольцо |
уплотнение с кантом |
|
Область применения |
не коррозивное |
умеренно коррозивное |
сильно коррозивное |
сильно коррозивное |
|
Примечание |
стандартный материал для KF и ISO |
стандартный материал для KF и ISO |
используется преимущественно в полупроводниковой промышленности |
стойкие к высоким давлениям |
Металлы
|
Материал |
Алюминий |
Медь (OFHC) |
|
Фланцевая система |
KF, ISO |
CF |
|
Исполнение |
уплотнение с кантом |
плоское уплотнение |
|
Область применения |
до конечного вакуума 1х10-7 мбар |
до конечного вакуума, стойкое к излучению |
|
Примечание |
стойкие к высоким давлениям, используется со специальными хомутами (цепочки) |
стандартный материал для фланцевой системы CF, для специальных применений используют уплотнения с напылением серебра |
Качество, чистота и упаковка
Вакуумные компоненты VACOM подлежат проверке по высоким стандартам качества. Важнейшие пункты отражен в нижеследующей таблице:
| Натекание: |
< 1х10-9 мбар л/с
- сварные части проверяются в индивидуальном порядке
- проверочный сертификат предоставляется по требованию |
|
Сварные швы: |
- сварка как внутри, так и снаружи |
|
Качество поверхностей: |
Поворотная часть:
- чистая;
- чистота N8, уплотняющая поверхность N6, N7
Сварные швы:
- KF и ISO: снутри и снаружи обработаны
- CF: внутри блестящие, снаружи отполированы
- чистота N8 или выше
- электрополировка по желанию |
|
Чистота: |
- обезжирены
- без углеводородов
- промыты деионизированной водой
- чистка ультразвуком по желанию |
|
Упаковка: |
- защита от пыли фольгой или герметичным пакетом
- защита от повреждений
- упаковка с требованиями чистых комнат по желанию |
|
