пн-пт c 9:00 до 18:00
8 800 700 67 23
+7 (495) 225-75-50
+7 (499) 369-02-69
 

Вакуумные датчики, вакуумметры

Производитель
Все
Тип датчика
Все
Верхний предел измеренией, мбар
Все
Нижний предел измеренией, мбар
Все
Реле
Все
Вакуумные датчики, вакуумметры
Комбинированный широкодиапазонный вакуумметр Ilmvac MRV 3000

Производитель: Ilmvac

Тип датчика: Комбинированный широкодиапазонный

Верхний предел измеренией, мбар: 1000(Атмосфера)

Нижний предел измеренией, мбар: 10^(-10)

Реле: Наличие, 2 точки

Комбинированный широкодиапазонный вакуумметр MRV 100

Производитель: Ilmvac

Тип датчика: Комбинированный широкодиапазонный

Верхний предел измеренией, мбар: 1000(Атмосфера)

Нижний предел измеренией, мбар: 10^(-8)

Реле: Наличие, 2 точки

Емкостной вакуумметр Ilmvac PIZA 111

Производитель: Ilmvac

Тип датчика: Комбинированный широкодиапазонный

Верхний предел измеренией, мбар: 1000

Нижний предел измеренией, мбар: 10^(-3)

Реле: Отсутствует

Емкостной вакуумметр Ilmvac PIZA 101

Производитель: Ilmvac

Тип датчика: Емкостной

Верхний предел измеренией, мбар: 1000

Нижний предел измеренией, мбар: 1

Реле: Отсутствует

Вакуумметр Пирани PVG-500 / PVG-500

Производитель: Agilent Technologies

Тип датчика: Термопарный

Верхний предел измеренией, мбар: 1000(Атмосфера)

Нижний предел измеренией, мбар: 10^(-4)

Реле: Наличие, 2 точки

Комбинированный широкодиапазонный вакуумметр Agilent PCG-750

Производитель: Agilent Technologies

Тип датчика: Комбинированный широкодиапазонный

Верхний предел измеренией, мбар: 1000(Атмосфера)

Нижний предел измеренией, мбар: 5*10^(-5)

Реле: Наличие, 2 точки

Комбинированный широкодиапазонный вакуумметр Agilent FRG-730

Производитель: Agilent Technologies

Тип датчика: Комбинированный широкодиапазонный

Верхний предел измеренией, мбар: 1000(Атмосфера)

Нижний предел измеренией, мбар: 10^(-10)

Реле: Наличие, 2 точки

Комбинированный широкодиапазонный вакуумметр Agilent FRG-700

Производитель: Agilent Technologies

Тип датчика: Комбинированный широкодиапазонный

Верхний предел измеренией, мбар: 1000(Атмосфера)

Нижний предел измеренией, мбар: 10^(-9)

Реле: Отсутствует

Емкостной вакуумметр Agilent CDG-500

Производитель: Agilent Technologies

Тип датчика: Емкостной

Верхний предел измеренией, мбар: 1000(Атмосфера)

Нижний предел измеренией, мбар: 1

Реле: Наличие, 2 точки

         

Какие бывают вакуумметры. Как выбрать?

Выбор правильного вакуумметра важен для успеха процесса откачки. Чтобы сделать правильный выбор, нужно знать как они работают.
Для правильного выбора нужно следующие важные параметры:
  • метод работы
  • состав газа (инертный или реактивный, коррозионный)
  • чувствительность к газу (калибровочный коэффициент)
  • процесс, выполняемый в системе.
Широкий диапазон давлений, получаемых при работе вакуумных насосов, требует использования нескольких вакуумметров. Для охвата всего диапазона давлений с необходимой точностью нужно использовать несколько вакуумных датчиков.
Другими важными факторами при выборе вакуумного датчика являются производительность и технические факторы, такие как:
  • разрешение
  • диапазон измерения
  • диапазон систематических ошибок
  • уровень случайной ошибки
  • срок службы и время реакции
  • стоимость

Диапазоны вакуума и вакуумметры для них

Для разных рабочих диапазонов требуются разные вакуумные датчики. Выбор зависит от понимания принципов работы, диапазона вакуума, которые он может измерять, и его точности в необходимом диапазоне.
При низком вакууме в диапазоне между атмосферным давлением и 10 Торрами, используются вакуумметры с трубкой Бурдона, пьезорезистивные.
При вакууме от 10+1 торр до 10 -3 торр есть несколько вариантов:емкостные,
 термопарные, конвекционные вакуумметры или вакуумные датчики Пирани.
В области от 10 -3 торра до 10 -6 торр., используются инверсно- магнетронные и широкодиапазонные вакуумные датчики. Они требуют частой калибровки.
При сверхвысоком вакуума, ниже 10 -6 мм рт. ст используют электронно-ионизационные вакуумные датчики

Вакуумметры с прямым и косвенным измерением давления

Вакуумные датчики разделены на две категории, основанные на способе измерения вакуума. Те, которые измеряют давление прямо (сила, действующая при воздействии молекул газа), и которые косвенно измеряют давление. Косвенные вакуумные датчики должны быть на основе фактически присутствующего газа. Их показания являются «зависимыми от газа». Прямые вакуумметры используются в области низкого вакуума, а косвенные датчики используются в диапазонах среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Косвенные вакуумные датчики делятся на группы:
  • измеряющие молекулярное сопротивление или вязкость.
  • измеряющие перенос тепла через газ (Пирани и термопарные вакуумные датчики)
  • измеряющие плотность числа молекул ионизирующего газа.
Уровень вакуума в сосуде определяется перепадом давления между вакуумированным объемом и окружающей атмосферой. Двумя основными ориентирами во всех этих измерениях являются стандартное атмосферное давление (1 атм.) и идеальный вакуум (0 Торр), поэтому для расчетов с использованием вакуумных систем требуется преобразование в абсолютное (psia) или отрицательное (psig).

Типы вакуумметров

Механические
Примерами являются вакуумметры с трубкой Бурдона, U-образные и емкостные мембранные манометры. Они измеряют силу на единицу площади через закон Далтона: «Общее давление смеси газов равно сумме парциальных каждого газа». Манометры прямого действия не зависят от чувствительности к газу и не нуждаются в калибровке. Их чувствительность низкая, поэтому они не используются в диапазоне высокого вакуума.

Терморезистивные
Используют свойство теплопроводности газов для измерения давления. Пример: вакууметр Пирани, в котором нагревается нить, и измеряются ее потери тепла в вакуумной среде. При низком давлении и пониженной плотности газа в вакуумной камере тепло отводится медленнее. Вакуумметры Пирани должны быть откалиброваны, потому что теплопроводность газов отличается. Эта «чувствительность» должна учитываться при выборе и использовании вакуумметров непрямого действия. Используется для давлений между 100 Торр и 10 -4 Торр.
Другим измерителем удельной теплопроводности является термопарный вакуумметр, который считается двухпроводным. Он использует принцип Пирани (однопроводной), за исключением того, что нагревателем выступает одна катушка провода, а другая используется для измерения температуры конвекции
Конвекционный вакуумный датчик похож на вакуумметр Пирани и использует температурно компенсированную позолоченную вольфрамовую проволоку для обнаружения эффектов охлаждения как кондукции, так и конвекции. В высоком вакууме реакция зависит от теплопроводности газа, а в низком вакууме - от конвективного охлаждения молекулами газа. Диапазон измерения составляет от 10 -3до 1000 Торр.
Вакуумметр Пирани, термопарный и конвекционный используются в грубом и среднем вакууме, потому что они недороги и относительно надежны.

График для вакуумметров

Газовая чувствительность конвективного датчика изменяется в зависимости от газа.

Ионизационные вакуумметры.
Существует два типа ионизационных приборов с холодным катодом: Пеннинга и инвертированный магнетрон. Ионизационные вакуумметры точны в высоком вакууме и являются датчиками косвенного действия. Они измеряют электрические ионы, возникающие при бомбардировке газа электронами. Меньшее количество газов будет вырабатываться с меньшим количеством ионов.

Манометры с холодным катодом, такие как вакуумные датчики Пеннинга, могут не работать при очень глубоком вакууме из-за того, что почти полное отсутствие газа затрудняет установление тока электрода.

Циклы технического обслуживания вакуумметра Пеннинга, как правило, измеряются в годах в зависимости от типа газа и вакуума, в котором они эксплуатируются. Вакуумный датчик Пеннинга и являются точными в диапазоне от 10 -3 до 10 -10 мм рт.ст.