пн-пт c 9:00 до 18:00
8 800 700 67 23
+7 (495) 225-75-50
+7 (499) 369-02-69
 

Вакуyмные насосы

Вакуумные насосы

Купить вакуумный насос в компании «ТАКО Лайн» у нас всегда выгодные цены на вакуумные насосы, вакуумное и компрессорное оборудование. Наша компания занимаемся изготовлением и обслуживанием вакуумной техники уже более 10 лет. В нашем каталоге Вы найдете модели как нашего производства, так и от ведущих мировых компаний, таких как: Agilent Technologies, Becker, Vacom, Elektror, Welch, GUCUM, GRINO ROTAMIK, VACUUM DESIGN, Bea Technologies.

Большой выбор вакуумных насосов

Мы поможем Вам предложить большой выбор вакуумных насосов, подобрать и купить вакуумный насос наиболее подходящий для Вашей задачи. Заказать вакуумные насосы, а так же компрессорное и вакуумное оборудование можно у сотрудников компании, по телефонам указанным на сайте или отправив нам запрос. 

Выбор вакуумного насоса

   Вакуум - это среда, в которой давление газа меньше атмосферного. Различают три степени вакуума : низкий вакуум (766 мм. Рт. ст. < p < 1 мм. Рт. ст.), средний вакуум (1 < p < 10-3 мм. Рт. ст.),  высокий вакуум ( p < 10-3 мм. Рт. ст.  ).  

Вакуум используется в:

  • Процессах производства микросхем

  • Полиграфии

  • Металлургии

  • Пищевой промышленности

  • Деревообрабатывающей промышленности

  • Химической промышленности

  • Оптическое производство

Оборудование и установки, которые создают и поддерживают вакуум называется вакуумными насосами. Правильно подобрать вакуумный насос задача непростая, наши специалисты подберут оптимальное решение для Вашей задачи. В различных применениях и для различных давлений, используются разные типы вакуумных насосов. Далее описаны принципы действия различных типов вакуумных насосов.

Мембранный вакуумный насос

Мембранный вакуумный насос


В последнее время по экологическим причинам все большую распространённость приобретают диафрагменные вакуумные насос. Они являются альтернативой водоструйным вакуумным насосам, поскольку мембранные вакуумные насосы не требуют использования воды. В целом, мембранный вакуумный насос на 90% дешевле в эксплуатации по сравнению с водоструйным. По сравнению с пластинчато-роторными вакуумными насосами, рабочая камера мембранных вакуумных насосов не содержит масла. По конструкции в них не требуется масляного уплотнения. Мембранные вакуумные насосы представляют собой одноступенчатые или многоступенчатые вакуумные насосы с камерой сжатия (имеют до четырех ступеней). Диафрагма натягивается между головкой и статором. Головака перемещается посредством шатуна и эксцентрика. Рабочая камера, объем которой периодически увеличивается и уменьшается, производит откачку. Клапаны расположены таким образом, что во время фазы, когда объем нагнетательной камеры увеличивается, она открыта для впускной линии. Во время сжатия рабочая камера связана с выпускной линии. Диафрагма обеспечивает герметичное уплотнение между приводом и рабочей камерой, так что в ней не содержится масла и смазочных материалов (сухой вакуумный насос). Мембрана и клапаны являются единственными компонентами, контактирующими со средой, подлежащей откачке. При покрытии диафрагмы PTFE (тефлон) и при изготовлении впускных и выпускных клапанов высокофторированного эластомера, возможна откачка агрессивных паров и газов, возможно использование в химических лабораториях. Из-за ограниченного хода диафрагмы возможно достигнуть только сравнительно низкая скорость откачки. Часть откачиваемого объема остается в верхней мертвой точке - так называемом «мертвом пространстве». Количество газа, которое остается, расширяется в расширительную камеру во время последующего такта всасывания, тем самым наполняя его, так что, когда давление всасывания уменьшается количество поступающего нового газа, уменьшается все больше и больше. Поэтому объемный КПД постоянно ухудшается. Мембранные вакуумные насосы не способны достичь более высокой степени сжатия, чем соотношение между «мертвым пространством» и максимальным объемом камеры. В случае одноступенчатых достижимое предельное давление составляет примерно 80 мбар. Двухступенчатый может достигнуть давления около 10 мбар, трехступенчатые могут достигать около 2 мбар, четырехступенчатые могут достигнуть давления 0,5 мбар. Мембранные насосы, обеспечивающие такое низкое предельное давление, подходят для предварительной откачки турбомолекулярных насосов с полностью интегрированными ступенями. Таким образом получается система, которая свободна от масла, что имеет большое значение для измерительных устройств, в которых используются системы масс-спектрометра и течеискатели. В отличие от насосов с вращающимися лопастями эта комбинация для течеискателей преимущественна так как в диафрагменном насосе не растворяется гелий, что полностью исключает возможность накопления гелиевого фона.

Принцип действия мембранного насоса

Водокольцевые вакуумные насосы

Водокольцевой вакуумный насос


Благодаря принципу откачки и простой конструкции водокольцевые вакуумные насосы особенно подходят для перекачивания газов и паров, которые также могут содержать небольшое количество жидкости. Воздух, насыщенный водяными парами или другими газами, содержащими конденсируемые компоненты, без проблем может быть откачен данным типом насосов. По конструкции жидкостные кольцевые насосы нечувствительны к загрязнению, которое может присутствовать в газе. Достижимые давления находятся в области между атмосферным давлением и давлением паров используемой рабочей жидкости. При использовании воды при 15 ° C можно достичь рабочего давления 33 мбар. Типичным применением водокольцевых вакуумных насосов является вентиляция паровых турбин на электростанциях. Водокольцевые вакуумные насосы являются роторными объемными, для них требуется рабочая жидкость, которая во время работы вращается, чтобы перекачивать газ. Когда он не используется, примерно половина насоса заполняется рабочей жидкостью. В осевом направлении ячейки, образованные лопастным колесом, ограничены и герметизированы лопатками. Эти диски оснащены всасывающими и выталкивающими пазами, которые подключены к соответствующим портам. После включения ротор ходит эксцентрично в статоре, таким образом создается концентрично вращающееся жидкое кольцо, которое в самой узкой точке полностью заполняет пространство между корпусом и лопастным колесом и которое отводится от камер, когда вращение продолжается. Газ всасывается по мере опустошения камер и сжатия путем последующего заполнения. 

В дополнение к задаче сжатия рабочая жидкость выполняет еще три важные задачи:

  • Удаление тепла, создаваемого процессом сжатия. 

  • Поглощение жидкостей и паров (конденсат). 

  • Обеспечение уплотнения между колесиком и корпусом 

Пластинчато-роторные масляные вакуумные насосы

Пластинчато-роторные масляные вакуумные насосы состоят из статора, в котором вращается эксцентрично установленный ротор. Ротор имеет лопатки, которые вылетают наружу под воздействием центробежной силы и под действием пружин, так что лопасти скользят внутри корпуса. Газ, поступающий через всасывающий патрубок, двигается лопатками и, наконец, выталкивается из насоса с помощью масляного герметичного выпускного клапана. При низких температурах окружающей среды это, возможно, требует использования более тонкого масла. Серия A смазывается возникающим перепадом давления, в то время как в серии B имеется редукторный масляный насос для смазки под давлением.

 Преимущества:
  • Оснащены особенно надежным клапаном для защиты от засорения. 

  • Горизонтальное или вертикальное расположение впускных и выпускных отверстий

  • Смотровое стекло уровня масла и исполнительный механизм газового балласта находятся на одной стороне коробки для масла (удобная для пользователя конструкция). 

Масляный резервуар, а также других масляных герметичных насосов служит для смазки и уплотнения, а также для заполнения «мертвых» пространств. Он снимает теплоту сжатия газа, то есть используется для охлаждения. Масло обеспечивает уплотнение между ротором и статором. Эти части «почти» контактируют по прямой линии (линия оболочки цилиндра). Для увеличения площади уплотнения с маслом в статор встроен так называемый уплотнительный канал. Это обеспечивает лучшее уплотнение и обеспечивает более высокую степень сжатия или более низкое предельное давление. Причина этого заключается в том, что в случае одноступенчатых вакуумных насосов масло неизбежно контактирует с внешней атмосферой, откуда газ возвращается в камеру, ограничивая тем самым достигаемое предельное давление. На масляных двухступенчатых вакуумных насосах, масло, которое уже дегазировано, подается со стороны вакуума, таким образом предельное давление находится в области высокого вакуума, Самые низкие рабочие давления лежат в диапазоне между средним вакуумом / высоким вакуумом. Примечание: работа на так называемой стадии высокого вакуума при очень малом количестве масла или вообще без масла - несмотря на очень низкое предельное давление - на практике приводит к значительным трудностям и значительно ухудшает работу. С двухступенчатыми вакуумными насосами возможно достижение более низких рабочих конечных давлений.

Сухие пластинчато-роторные вакуумные насосы

Принцип действия сухих пластинчато-роторных вакуумных насосов аналогичен масляным вакуумным насосам. Здесь уплотнение обеспечивается графитовыми лопатками. Предельное остаточное давление у данного типа больше, чем у масляных. Используются там, где необходим вакуум без паров масла. 

Сферы применения:

  • Полиграфия

  • Вакуумные прижимные столы  

Плунжерные вакуумные насосы

Плунжерный вакуумный насос

В этом вакуумном насосе поршень, который перемещается эксцентрично, перемещается вдоль стенки камеры. Газ, который должен перекачиваться, поступает в насос через впускное отверстие, проходит через впускной канал золотникового клапана в насосную камеру. Скользящий клапан образует узел с поршнем и скользит туда-сюда между вращающейся направляющей в корпусе. Газ, всасываемый в насос, наконец, поступает в камеру сжатия. Во время поворота поршень сжимает это количество газа до тех пор, пока он не выталкивается через клапан с масляным уплотнением. Как и в случае с пластинчато-роторным вакуумным насосом, масляный резервуар используется для смазки, герметизации, заполнения мертвых зон и охлаждения. Поскольку рабочая камера делится поршнем на два пространства, каждый оборот завершает рабочий цикл. Плунжерные вакуумные насосы изготавливаются как одноступенчатые и двухступенчатые. Во многих вакуумных процессах сочетание насоса Рутса с одноступенчатым поршневым насосом может иметь больше преимуществ, чем двухступенчатый плунжерный насос. Если такая комбинация или двухступенчатый насос недостаточны, то рекомендуется использовать насос Рутса в сочетании с двухступенчатым насосом. Это не относится к комбинациям с пластинчато-роторными вакуумными насосами.

Ротационные объемные вакуумные насосы с сухим сжатием:

Вакуумные насосы Рутса

Принцип работы вакуумного насоса Рутса

Принцип работы вакуумного насоса Рутса был изобретен в 1848 году Исайей Дэвисом, но это было 20 лет спустя, прежде чем оно было реализовано на практике американцами Фрэнсисом и Филандером Рутсом. Первоначально такие насосы использовались в качестве воздуходувок для двигателей внутреннего сгорания. Только с 1954 года этот принцип применялся в вакуумной технике. Насосы Рутса используются в комбинациях вместе с другими вакуумными насосами и расширяют свой рабочий диапазон до среднего диапазона вакуума. С двухступенчатыми насосы Рутса могут откачать до области высокого вакуума. Принцип работы разрешает производить сборку блоков, имеющих очень высокую скорость откачки (более 100000 м3/ ч), которые часто являются более экономичным в эксплуатации, чем паровой эжектор насосы работают в том же рабочем диапазоне. Вакуумный насос Рутса представляет собой роторно-поршневой насос с принудительным вытеснением, в котором две вращающиеся в симметричной форме крыльчатки вращаются внутри корпуса друг с другом в непосредственной близости. Оба ротора имеют поперечное сечение, напоминающее форму фигуры 8, и синхронизированы зубчатой шестерней. Зазор между роторами и стенкой камеры, а также между самими роторами составляет всего несколько десятых миллиметра. По этой причине вакуумные насосы Рутса могут работать на высоких скоростях без механического износа. Насосы Рутса, в отличие от ротационных и плунжерных насосов, не имеют масляного уплотнения, так что внутренняя утечка по конструкции приводит к тому, что могут быть достигнуты коэффициенты сжатия только в диапазоне 10-100. Внутренняя утечка, а также других сухих насосов в этом отношении главным образом основана на том, что благодаря принципу работы определенные площади поверхности камеры распределяются по впускной стороне и стороне сжатия насоса с чередующимся порядком. Во время фазы сжатия эти поверхности (роторы и корпус) загружаются газом (пограничный слой); Во время фазы всасывания этот газ выпускается. Толщина слоя движущегося газа зависит от зазора между двумя роторами и между роторами и стенкой обсадной колонны. Наименьшие зазоры и, следовательно, самые низкие обратные потоки достигаются при рабочих давлениях в области 1 мбар. Впоследствии в этой области можно достигнуть самых высоких коэффициентов сжатия, но этот диапазон давления также является наиболее критичным с точки зрения контактов между роторами и обсадной колонной.

Когтевые вакуумные насосы

Как насосы Рутса, относятся к группе ротационных вакуумных насосов. Когтевые безмасляные вакуумные насосы могут иметь несколько ступеней, их роторы имеют форму когтей. 

Принцип конструкции:

Поперечное сечение внутри корпуса имеет форму двух частично перекрывающихся цилиндров. Внутри этих цилиндров есть два свободно вращающихся ротора на каждой ступени: с их когтями и соответствующими углублениями, вращающимися в противоположных направлениях относительно их вертикальных осей. Роторы синхронизируются шестерней так же, как насос Рутса. Для достижения оптимального уплотнения зазор между ротором в центре кожуха и величиной зазора относительно внутренней стенки ротора очень мал. Оба имеют порядок величины в несколько 0. 01 мм. Роторы периодически открывают и закрывают впускные и выпускные пазы. В начале рабочего цикла в положении а правый ротор просто открывает входной паз. Газ поступает в постоянно увеличивающееся пространство в положение b до тех пор, пока правый ротор не закроет входную щель в положении c. После того, как оба когтя вышли через центральное положение, газ, который вошел, затем сжимается в камере сжатия до тех пор, пока левый ротор не освободит прорезь разгрузки. Сразу же после начала процесса сжатия впускной паз открывается одновременно, и газ снова течет в формообразующее впускное пространство. Приток и сброс газа осуществляется в течение двух полупериодов. Каждый ротор поворачивается дважды в течение всего рабочего цикла. Между ступенями накачки расположены промежуточные диски с проточными каналами, которые проходят со стороны нагнетания верхней ступени к впускной стороне следующей ступени, так что все стороны впуска или выпуска расположены вертикально друг над другом. В то время как в насосе Рутса поступающий газ прокачивается через насос при постоянном объеме, а сжатие выполняется только в линии форвакуума, когтевой насос сжимает газ уже внутри камеры. Усредненные значения давления на отдельных ступенях накачки при давлении на входе 1 мбар. Для удовлетворения самых разных требований производится две различные серии когтевых насосов, которые в основном отличаются типом используемого процесса сжатия.

Масляные вакуумные насосы

Различают эжектором насосов, такие как: струйные (17 мбар <р <1013 мбар), паровой эжектор (10 -3 мбар <р <10 -1мбар) и диффузионный(р <10-3 мбар). Эжекторные вакуумные насосы используются в основном для производства среднего вакуума. Диффузионные насосы производят откачку до высокого и сверхвысокого вакуума. Оба типа работают с быстрым потоком жидкости насоса в парообразном или жидком виде (струя воды, а также водяной пар, масло или пары ртути). 

Принцип работы:

Молекулы перекачиваемого газа удаляются из сосуда и поступают в поток жидкости насоса, который расширяется после прохождения через сопло. Молекулы потока жидкости передают импульсы молекулам газа в направлении потока. Таким образом, газ, который должен быть откачан, перемещается в пространство, имеющее более высокое давление. В насосах для улавливания жидкости во время работы возникают соответствующие давления пара в зависимости от типа рабочей жидкости насоса и температуры, а также от конструкции сопла. В случае масляных диффузионных насосов давление может достигать 1 мбар в камере для кипячения. Давление в насосе должно быть достаточно низким, чтобы пар мог испаряться. Чтобы обеспечить это, для таких насосов требуется соответствующая предварительная откачка, главным образом механического типа. Струя пара не может попасть в сосуд, так как она конденсируется на охлажденных наружных стенках насоса после его выброса через сопло. Вольфганг Гаед был первым, кто понял, что газы при сравнительно низком давлении могут прокачивать с помощью потока жидкости насоса с существенно более высоким давлением, и что молекулы газа из области с низким общим давлением перемещаются в область с высоким общим давлением. Эта основная концепция Геде использовалась Ленгмюром (1915) при построении первого современного диффузионного насоса. Первые эжекторные вакуумные насосы были ртутные диффузионные из стекла, позже из металла. В шестидесятые годы ртуть как среда почти полностью была заменена маслом. Чтобы получить как можно большую скорость потока пара, он позволил паровому потоку исходить из сопла со сверхзвуковой скоростью. Пары жидкости, составляющие струю пара, конденсируются на охлаждаемой стенке корпуса, в то время как транспортируемый газ дополнительно сжимается, как правило, на одной или нескольких последующих ступенях, прежде чем его удалит форвакуумный насос. Коэффициенты сжатия, которые могут быть получены с помощью эжекторных вакуумных насосов, очень высоки: если на входе в эжектор давление 10-9 мбар и давление предварительной откачки 10-2 мбар, то перекачиваемый газ сжимается в 107 раз! В основном, предельное давление ограничено значением парциального давления жидкости, используемой при рабочей температуре насоса. На практике производитель пытаются улучшить это значение путем введения дефлекторов или холодных ловушек. Это «конденсаторы» между эжекторным вакуумным насосом и вакуумной камерой, так что предельное давление, которое может быть достигнуто в вакуумной камере, в настоящее время ограничивается только парциальным давлением жидкости при температуре ловушек. Различные типы эжекторных вакуумных насосов по существу отличаются плотностью жидкости насоса на выходе из верхнего сопла, обращенной к стороне высокого вакуума насоса.

Диффузионные вакуумные насосы

Диффузионный вакуумный насос


Диффузионные вакуумные насосы и вакуумные посты состоят в основном из корпуса с охлаждаемой стенкой и трех- или четырехступенчатой системой сопел. Масло, служащее в качестве рабочей жидкости, находится в котле и испаряется отсюда электрическим нагревом. Масляный пар течет через вертикальные трубы и выходит со сверхзвуковой скоростью из кольцевых сопел. После этого форсунка, сформированная таким образом, расширяется подобно зонтику и достигает стены, где происходит конденсация жидкости. Жидкий конденсат течет вниз в виде тонкой пленки вдоль стенки и, наконец, возвращается в котел. Из-за этого распространения струи плотность пара относительно низкая. Диффузия воздуха или любых перекачиваемых газов (или паров) в струе происходит настолько быстро, что, несмотря на высокую скорость, струя становится практически полностью насыщенной перекачиваемой средой. Поэтому в широком диапазоне давлений диффузионные вакуумные насосы имеют высокую скорость откачки. Скорость откачки практически всегда постоянна по всей рабочей области диффузионного вакуумного насоса (≤ 10 -3 мбар), так как воздух при этих низких давлениях не могут влиять на струю, так что её курс остается стабильным. При более высоких входных давлениях ход струи изменяется. В результате, скорость откачки уменьшается до тех пор, при температуре около 10 -1 мбар, она не станет неизмеримо мало. Давление форвакуумного насоса также влияет на струю пара и становится пагубным, если его значение превышает определенный критический предел. Этот предел называется максимальным давлением насоса предварительной откачки.

Эжекторные масляные насосы

Рабочая жидкость под высоким давлением р 1 поступает в сопло, выполненный в виде сопла Лаваля. Там она расширяется до давления на входе р2. При таком расширении внезапное изменение энергии сопровождается увеличением скорости. Последующая рабочая жидкость проходит через зону смесителя, которая соединена с вакуумной камерой. Здесь молекулы газа, выходящие из сосуда, увлекаются струей паров. Жидкость из паровой фазы, теперь поступает в диффузорное сопло, выполненное в виде сопла Вентури. Здесь пар - газовая смесь сжимается до давления подложки р3 с одновременным уменьшением скорости. Пары жидкости накачки затем конденсируются на стенках насоса, тогда как увлекаемый газ удаляется с помощью форвакуумного насоса. Эжекторные масляные насосы идеально подходят для перекачивания больших количеств газа или пара в области давлений от 1 до 10 -3 мбар. Более высокая плотность потока пара в соплах гарантирует, что диффузия перекачиваемого газа в потоке пара происходит гораздо медленнее, чем в диффузионных вакуумных насосах, так как только наружные слои парового потока пронизаны газом. Более того, поверхность, через которую происходит диффузия, намного меньше благодаря специальной конструкции сопел. Поэтому удельная скорость откачки паронагнетательных насосов меньше, чем у диффузионных насосов. Поскольку перекачиваемый газ в окрестности струи при существенно более высоком входном давлении оказывает решающее влияние на ход потока, оптимальные условия получаются только при определенных входных давлениях. Следовательно, скорость откачки не остается постоянной в направлении низких входных давлений. Вследствие высокой скорости и плотности парового потока, эжекторные насосы с масляным паром могут транспортировать газы при относительно высоком давлении на выходе. Их критическое форвакуумное давление составляет несколько миллибар. Эжекторные насосы масляного типа, используемые в современных вакуумных технологиях, имеют, как правило, одну или несколько диффузионных ступеней и несколько последующих ступеней эжектора. Сопловая система бустера построена из двух ступеней диффузии и двух ступеней эжектора в каскаде. Этапы диффузии обеспечивают высокую скорость откачки между 10 -4 и 10 -3 мбар. Этапы эжектора обеспечивают пропускную способность газа при высоких давлениях и высокое критическое давление подложки. Нечувствительность к пыли и парам, растворенным в жидкости насоса, достигается с помощью большого котла и большого резервуара для жидкости насоса. Котёл может содержать большое количество примесей без ухудшения откачных характеристик.

Турбомолекулярные вакуумные насосы

турб.jpg

Принцип работы турбомолекулярного насоса - хорошо известный с 1913 года - состоит в том, что частицы газа, которые должны быть откачаны, получают, ударяясь о быстро движущиеся поверхности ротора, импульс в нужном направлении потока. Поверхности ротора - обычно дискообразного - образуют со стационарными поверхностями статора промежуточные пространства, в которых газ передвигается к выхлопу насоса. В оригинальном молекулярном насосе и его модификациях промежуточные пространства (транспортные каналы) были очень узкими, что приводило к конструкционным трудностям и высокой степени подверженности механическому загрязнению.

В конце 50-х годов стало возможным - посредством турбинной конструкции и путем модификации идей Геде - создать технически жизнеспособный так называемый «турбомолекулярный насос». Промежутки между статором и роторным дисками составляли порядка миллиметров, так что можно было получить существенно большие допуски. Тем самым была обеспечена большая безопасность в эксплуатации. Однако значимая скорость откачки достигается только тогда, когда окружная скорость лопаток ротора достигает величины порядка средней тепловой скорости.

Это значительно сокращает срок службы подшипников. Использование разнородных материалов в так называемых гибридных подшипниках позволяет избежать эффекта микросварки. Турбомолекулярный вакуумный насос представляет собой компрессор осевого потока вертикальной конструкции, активная или насосная часть которого состоит из ротора и статора. Турбинные лопасти расположены вокруг окружностей статора и ротора. Каждая пара ротора - статора рядов круглых лопаток образует одну ступень, так что насос состоит из множества ступеней, установленных последовательно. Подаваемый газ поступает непосредственно через отверстие входного фланца, то есть без потери на проводимость, в области активной накачки верхних лопастей узла ротора-статора. Газ, захваченный верхними ступенями, переносится на более низкие ступени сжатия, у которых лопасти имеют более короткие радиальные пролеты, где газ сжимается до поддерживающего давления или грубого вакуумного давления. Ротор турбины установлен на приводном валу, который поддерживается двумя прецизионными шарикоподшипниками, размещенными в корпусе двигателя. Вал ротора непосредственно приводится в действие двигателем, размещенным в пространстве грубого вакуума внутри ротора, так что нет необходимости в воде вращения к внешней атмосфере. Этот двигатель управляется автоматически с помощью внешнего преобразователя частоты. Для специальных применений, например, в местах, подверженных воздействию радиации, используются преобразователи частоты генератора двигателя.

Сорбционные вакуумные насосы

Термин «сорбционные насосы» включает в себя все типы насосов удаления газов и паров в которых происходит с помощью сорбционных средств. Путём сравнения их принципов работы, мы можем различать адсорбционные вакуумные насосы, в которых происходит сорбция газов с регулируемой температурой, и геттерные вакуумные насосы, которые сорбируют и удерживают газы, путём образования химических соединений. Геттерирование это связывание газов на чистых, в основном металлических поверхностях, которые не покрыты окисью или карбидом. Такие поверхности всегда образуются при производстве, монтаже или при вентиляции системы.

Адсорбционные вакуумные насосы

Адсорбционные вакуумные насосы работает в соответствии с принципом физической адсорбции газов на поверхности молекулярных решеток или других адсорбционных материалов (например, активированный Al2O3). Цеолит 13X часто используют в качестве адсорбционного материала. Этот щелочной алюмосиликат имеет для материала чрезвычайно большую площадь поверхности, около 1000 м2/ г твердого вещества. Соответственно, его способность сорбировать газ значительна. Диаметр пор цеолита 13X составляет около 13 Å, что находится в пределах порядка величины молекул водяного пара, паров масла, и более крупных молекул газа (около 10 Å). Если предположить, что средний молекулярный диаметр составляет половину этого значения 5 · 10 -8 см, примерно 510 18 молекул, адсорбированных в монослое на поверхности 1 м2. Таким образом, адсорбционная поверхность 1000 м2 способна адсорбировать мономолекулярный слой, в котором более чем 133 мбар*л связанного газа. Водород и легкие благородные газы, такие как гелий и неон, имеют относительно малый диаметр частиц по сравнению с размером пор 13 Å для цеолита 13X. Эти газы, поэтому, очень плохо адсорбируется. Адсорбции газов на поверхности зависит не только от температуры, но что более важно от давления над поверхностью адсорбции. На практике, адсорбционные насосы подключены через клапан к вакуумной камере. Из-за различных свойства адсорбции, скорость откачки и конечное давление адсорбционного насоса различны для различных молекул газа: лучшие значения достигаются для азота, двуокиси углерода, паров воды и паров углеводородов. Легкие благородные газы практически не откачиваются вовсе, поскольку диаметр частиц мал по сравнению с порами цеолита. По мере того как сорбционный эффект уменьшается с увеличением засорённости цеолитных поверхностей, скорость откачки падает с увеличением числа частиц уже адсорбированных. Скорость откачки адсорбционного насоса, таким образом, зависит от количества газа, уже откачанного и не является постоянным. Предельное давление достижимое с адсорбционными насосами определяется в первую очередь газами которые преобладают в сосуде на начало процесса откачки и слабо или совсем не адсорбируется (например, неон или гелий) на поверхности цеолита. В атмосферном воздухе содержится определенное количество таких газов. Таким образом, может быть достигнуто давление <10 -2 мбар. Если давление ниже 10 -3 мбар должны быть достигнуто с адсорбционными насосами, насколько это возможно, не неон или гелий не должны присутствовать в газовой смеси. После процесса откачки, насос должен быть нагрет до комнатной температуры и адсорбированные газы должны выделиться с поверхности, после чего цеолит регенерируется для повторного использования. Если был откачан воздух (или влажный газ), содержащий большое количество водяного пара, рекомендуются нагреть насос до температуры 200° С или выше. Для того, чтобы откачать большие вакуумные камеры, надо использовать несколько адсорбционных насосов параллельно или последовательно.

Геттеро-ионные вакуумные насосы

Насосное действие геттеро-ионных вакуумных насосов основано на сорбционных процессах, которые инициируются ионизированными частицами газа в разряде Пеннинга (холодный катод). С помощью «распараллеливания отдельных клеток Пеннинга геттеро-ионные вакуумные насосы достигают достаточно высокой скорости откачки для отдельных газов.

Сублимационные вакуумные насосы

Сублимационные вакуумные насосы, в которых геттерный материал испаряется и осажденные на холодную внутреннюю стенке в качестве газопоглощающей пленки. На поверхности такой геттерной пленки молекула газа образует стабильные соединения, которые имеют неизмеримо низкое давление паров. Активный газопоглотитель пленка обновляется последующими испарениями. Обычно титан используется в сублимационных вакуумных насосах в качестве геттера. Титана выпаривают из проволоки, изготовленной из специального сплава с высоким содержанием титана, который нагревают с помощью электрического тока. Хотя оптимальная сорбционной емкость: примерно один атом азота для каждого упаривает атом титана едва ли может быть получен на практике, сублимационные вакуумные насосы имеют чрезвычайно высокую скорость откачки для активных газов. Сублимационные вакуумные насосы используются в качестве вспомогательных насосов для распыления.

Вакуумные крионасосы

Как вы заметили, вода конденсируется на холодной водопроводной воде или окон и форм льда на блоке испарителя в холодильнике. Этот эффект конденсации газов и паров на холодных поверхностях, водяной пар, в частности, как это известно в повседневной жизни, имеет место не только при атмосферном давлении, но и в вакууме. 

Этот эффект был использован в течение длительного времени в конденсаторах, главным образом, в связи с химическими процессами; ранее дефлектор на диффузионных насосов, используемых для охлаждения с холодильными машинами. Кроме того, в герметичном пространстве (вакуумная камера) образование конденсата на холодную поверхность означает, что большое количество молекул газа удаляется из объема: они остаются расположены на холодную поверхность и не участвуют больше в атмосфере хаотичного движения газа внутри вакуумной камеры. Тогда мы будем говорить, что частицы откачаны и говорить что в крионасосах, эффект откачки достигается с помощью холодных поверхностей. 

Криогенный инжиниринг отличается от холодильной техники в том, что температура, участвующие в крио техники, находятся в диапазоне ниже 120К(<153°С)

У нас всегда низкая цена на вакуумные насосы. Звоните нам по номеру + 7 (495) 225 - 75 - 50 и убедитесь  в этом.